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洁净度等级划分标准 硅净净化 ISO14644洁净度划分 新版GMP洁净度等级划分标准
2020-03-18 19:45
各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求：设计规范（GB50472-2008） 产品、工序 | 洁净度等级 | 控制粒径μm | 半导体材料 | 拉单晶 | 6～8 | 0.5 | 切、磨、抛 | 5～7 | 0.3～0.5 | 清洗 | 4～6 | 0.3～0.5 | 外延 | 4～6 | 0.3～0.5 | 芯片制造 | 氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP | 2～5 | 0.1～0.5 | 光刻 | 1～5 | 0.1～0.3 | 检测 | 3～6 | 0.2～0.5 | 设备区 | 6～8 | 0.3～0.5 | 封装 | 划片、键合 | 5～7 | 0.3～0.5 | 封装 | 6～8 | 0.3～0.5 | TFT-LCD | 陈列板（薄膜、光刻、刻蚀、剥离） | 2～5 | 0.2～0.3 | 成盒（涂复、磨擦、液晶注入、切割、磨边） | 3～6 | 0.2～0.3 | 模块 | 4～6 | 0.3～0.5 | 彩膜板 | 2～5 | 0.2～0.3 | STN-LCD | 6～7(局部5级） | 0.3～0.5 | HDD | 制造区 | 3～4 | 0.1～0.3 | 其他区 | 6～7 | 0.3～0.5 | PDP | 核心区 | 6～7 | 0.3～0.5 | 支持区 | 7～8 | 0.3～0.5 | 锂电池 | 干工艺 | 6～7 | 0.5 | 其他区 | 7～8 | 0.5 | 彩色显像管 | 涂屏、电子枪
装配、荧光粉 | 6～7 | 0.5 | 锥石墨涂覆、荫罩装配 | 8 | 0.5 | 表面处理 | 5～7 | 0.5 | 电子仪器、微型计算机装配 | 8 | (0.5) | 高密磁带制造 | 6～8（局部5级） | (0.5) | 印制版的照相、制版、干膜 | 7～8 | (0.5) | 光导纤维 | 预制棒 | 6～7 | 0.3～0.5 | 拉丝 | 5～7 | 0.3～0.5 | 光盘制造 | 6～8 | 0.3～0.5 | 磁头生产 | 核心区 | 5 | 0.3 | 清洗区 | 6 | 0.3 | 片式陶瓷
电容、片式
电阻等制造 | 丝印、流延 | 8 | 0.5 | 声表面波
器件制造 | 光刻、显影 | 5 | 0.3～0.5 | 镀膜、清洗、划片、封帽 | 6 | 0.5 |
ISO14644-1国际标准—空气洁净度等级划分 空气洁净度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米） | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | ISO Class1 | 10 | 2 |
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| ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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| ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 |
| ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | ISO Class7 |
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| 352,000 | 83,200 | 2,930 | ISO Class8 |
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| 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | ISO Class9 |
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| 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级 空气洁净度等级(N) | 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | 1 | 10 | 2 |
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| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 |
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| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
| 4（十级） | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 |
| 5（百级） | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 6（千级） | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 7（万级） |
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| 352000 | 83200 | 2930 | 8（十万级） |
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| 3520000 | 832000 | 29300 | 9（一百万级） |
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| 35200000 | 8320000 | 293000 |
中国GMP（2010年修订）新版GMP附录1 无菌药品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下 洁净度级别 | 悬浮粒子数最大允许数/m3 | 近似对应传统洁净度 | 静态 | 动态 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | A级 | 3520 | 20 | 3520 | 20 | 100级 | B级 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 | 100级 | C级 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 | 10,000级 | D级 | 3520000 | 29000 | 不作规定 | 不作规定 | 100,000级 |
各国洁净度等级近似对照表 个 / M ≥0.5um | ISO14644-1(1999) | US209E(1992) | US209D(1988) | EECcGMP(1989) | FRANCE AFNOR(1981) | GERMANY VDI 2083 | JAPAN JAOA(1989) | 1 | - | - | - | - | - | - | - | 3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 | 10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - | 35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 | 100 | - | M2 | - | - | - | - | - | 353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 | 1,000 | - | M3 | - | - | - | - | - | 3,530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4,000 | 3 | 5 | 10,000 | - | M4 | - | - | - | - | - | 35,300 | 6 | M4.5 | 1,000 | 1,000 | - | 4 | 6 | 100,000 | - | M5 | - | - | - | - | - | 353,000 | 7 | M5.5 | 10,000 | C | 400,000 | 5 | 7 | 1,000,000 | - | M6 | - | - | - | - | - | 3,530,000 | 8 | M6.5 | 100,000 | D | 4,000,000 | 6 | 8 | 10,000,000 | - | M7 | - | - | - | - | - |
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