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电子工业洁净厂房物料净化

2016-07-01 09:47

5.4 物料净化

电子工业洁净厂房内,为避免多种物料搬入洁净室时,携带污染物影响洁净室(区)的空气洁净度,甚至影响电子产品质量,造成次品或废品的出现,因此本节规定各种物料搬入洁净室(区)的下列基本规定:

洁净室(区)的设备和物料出入口,应该独立设置。因此出入口不得与人员出入口混同使用,避免污染物混杂、交叉。但对于洁净室规模较小,如建筑面积只有几十平米的洁净室,设备和物料出入口是否应独立设置,应根据具体工程项目情况,物料状态,洁净室内人员数量等实事求是地确定。

洁净室(区)应设有设备的物资净化用室,并在此房间内设有相应物料净化设施,对搬入洁净室(区)的设备和物料进行净化处理。该物净用室的面、空间尺寸和物净设施,应根据物料的特征、性质、形状等确定,比如按物料的包装方式、物化性质的不同,可采取真空吸尘、压缩空气吹除、擦拭等不同方法进行物料净化处理等。

洁净室(区)的物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。本规定不仅是确保物料的搬入不影响洁净室(区)与非洁净室(区)的变化;而且昌保持物料出入口处,洁净室(区)与非洁净室(区)静压差的基本条件,也是物料出入口处,洁净室也非洁净室的分界和分隔。因此,每5.4.2条是强制性文件。


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