咨询热线:13328055573
首页 关于我们 净化工程 空气过滤 安装工程 工程配套 成功案例 技术支持 联系我们
>净化工程
>空气过滤
>安装工程
>工程配套

各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求

2015-12-05 21:37

各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求:设计规范(GB 50472-2008)

产品、工序

洁净度等级

控制粒径μm

半导体材料

拉单晶

6~8

0.5

切、磨、抛

5~7

0.3~0.5

清洗

4~6

0.3~0.5

外延

4~6

0.3~0.5

芯片制造

氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP

2~5

0.1~0.5

光刻

1~5

0.1~0.3

检测

3~6

0.2~0.5

设备区

6~8

0.3~0.5

封装

划片、键合

5~7

0.3~0.5

封装

6~8

0.3~0.5

TFT-LCD

陈列板(薄膜、光刻、刻蚀、剥离)

2~5

0.2~0.3

成盒(涂复、磨擦、液晶注入、切割、磨边)

3~6

0.2~0.3

模块

4~6

0.3~0.5

彩膜板

2~5

0.2~0.3

STN-LCD

6~7(局部5级)

0.3~0.5

HDD

制造区

3~4

0.1~0.3

其他区

6~7

0.3~0.5

PDP

核心区

6~7

0.3~0.5

支持区

7~8

0.3~0.5

锂电池

干工艺

6~7

0.5

其他区

7~8

0.5

彩色显像管

涂屏、电子枪
  装配、荧光粉

6~7

0.5

锥石墨涂覆、荫罩装配

8

0.5

表面处理

5~7

0.5

电子仪器、微型计算机装配

8

(0.5)

高密磁带制造

6~8(局部5级)

(0.5)

印制版的照相、制版、干膜

7~8

(0.5)

光导纤维

预制棒

6~7

0.3~0.5

拉丝

5~7

0.3~0.5

光盘制造

6~8

0.3~0.5

磁头生产

核心区

5

0.3

清洗区

6

0.3

片式陶瓷
  电容、片式
  电阻等制造

丝印、流延

8

0.5

声表面波
  器件制造

光刻、显影

5

0.3~0.5

镀膜、清洗、划片、封帽

6

0.5


电话:0512-57377720 传真:0512-55258975 网址:http://www.guajn.com 企业邮箱:guajn@guajn.com 地址:苏州昆山市千灯镇工业区
净化房无尘房过滤房正压房洁净房风淋房吹淋房工业无尘室工业洁净室昆山涂布无尘室无尘房改造厂家昆山做净化工程
版权所有:昆山硅净净化工程有限公司 苏ICP备15028732号-1
收缩 收缩

在线客服

  • 客服1 点击这里给我发消息
  • 客服2 点击这里给我发消息
  • 客服3 点击这里给我发消息
  • 客服4 点击这里给我发消息