1、洁净室clean room

空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2、洁净区clean zone

空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

3、洁净工作区clean working area

指洁净室内离地面高度0.8~1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。

4、空态 as-built

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

5、静态 at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

6、动态 operational

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

7、移动式洁净小室clean booth

可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。

8、人身净化用室room for cleaning hum

人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

9、物料净化用室room  for cleaning mterial

物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

10、洁净度 cleanliness

以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。

11、气流流型 air pattern

对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。

12、单向流unidirectional airflow

沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流

13、非单向流non-unidirectional airflow

凡不符合单向流定义的气流

14、混合流mixed airflow

单向流和非单向流组合的气流。

15、防静电环境ESD controlled environment

能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。